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Micro-opto-mechanical systems : ウィキペディア英語版 | Micro-opto-mechanical systems
Micro-Opto-Mechanical Systems (MOMS) are a special class of Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) which use optical and mechanical, but not electrical components. ==Compare==
*Microelectromechanical Systems (MEMS) *Micro-Opto-Electromechanical Systems (MOEMS) *Nanoelectromechanical Systems (NEMS)
抄文引用元・出典: フリー百科事典『 ウィキペディア(Wikipedia)』 ■ウィキペディアで「Micro-opto-mechanical systems」の詳細全文を読む
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